無塵車間的主要作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。那么,無塵車間的潔凈度需要符合哪些規定呢?
1、對于進行產品加工、生產不同產品的無塵凈化車間,進行等級劃分。
2、根據無塵車間的氣流組級別,對空氣凈化形式進行劃分,有些工作區可以采取局部凈化,而有些工作區則需要進行全室空氣凈化。
3、分開設置層流無塵車間、亂流無塵車間、運行班次和使用時間不同的無塵車間內的凈化空氣調節系統。
4、應保持無塵車間內的送風量,其送風量要符合國家標準,且對不同無塵車間內送風量的多少進行梯級劃分。
5、宜采用專業的吸塵器和真空吸塵系統來進行無塵廠房的清潔,保證無塵車間內的清潔度。
6、在產品在生產的過程中對室溫、濕度等方面有嚴格要求的時候,無塵車間內設置的系統必須要滿足產品在這方面的要求。若產品在生產的過程中對室溫、濕度等方面沒有要求,那么,宜將室溫調整到20°~26°,濕度為70°。
7、在對普通無塵凈化車間內的空氣進行凈化時,宜使用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾進行空氣凈化。如果是十萬級無塵車間要進行空氣凈化處理,采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器要好。